增進量測靈敏度　提升製程良率

許多 3C 產品都會裝上電容式感測器，以偵測這些產品所遭遇的移動、旋轉等狀況，

但隨著產品體積變小，電容式感測器跟著縮小時，

其電極間距，也就是移動電極與固定電極間之距離也必須縮短，才能維持量測靈敏度。

但此縮小的電極間距容易在製造的過程中，使移動電極沾黏至固定電極，因而降低製程良率。

財團法人工業技術研究院研究團隊早在數年前觀察到此一現象，

即著手進行研發具有微小電極間距的感測器，以克服上述缺點，

持續幾年後果然有所成，一舉榮獲得 103 年國家發明創作獎發明金牌之殊榮。

• 發布日期 : 104-03-11
• 更新日期 : 110-03-18
• 發布單位 : 專利行政企劃組
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