| B |
作業、運輸 |
| B81 |
微米結構技術 [7] |
| B81C |
專用於微米結構裝置或系統的製造或處理之方法或設備（製造微米膠囊或微米球，見B01J13/02；製造或處理壓電、電致伸縮或磁致伸縮元件之特殊方法或設備本身，見H01L41/22）[7] |
| B81C 1/00 |
在基片內或其上的裝置或系統之製造或處理（3/00優先）[7] |
| B81C 3/00 |
來自個別加工元件的裝置或系統之組裝 [7] |
| B81C 5/00 |
（轉見B81C99/00） |
| B81C 99/00 |
本次類其他各目中不包含之技術主題 [2010.01] |
