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線型彩色共焦顯微系統

國發獎-103003

具高解析量測效果 有助產業升級

線型彩色共焦顯微系統的創新之處,

主要是其為一套具高速、抗振頻寬高、無須複雜步驟的線上型光學掃描量測系統與技術,

研究團隊主持人台大機械工程系教授陳亮嘉形容此系統猶如「機台的心臟」,

比頭髮還微細的,甚至人眼所看不到的,此系統都能快速看出其形貌特徵與關鍵,

而且應用範圍廣泛,舉凡半導體、IC晶片、封裝、平面顯示器等高科技製程檢測設備皆適用。

  • 發布日期 : 104-03-11
  • 更新日期 : 110-03-18
  • 發布單位 : 國際事務及綜合企劃組
  • 瀏覽人次 : 242

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