純度高達 99.999wt.% 的高純度鋁因電阻低、導電性佳，被製作成鋁靶，

透過濺鍍方式將其沉積於玻璃基板上，成為 LCD 中薄膜電晶體的薄膜導電層，扮演傳輸影像訊號的角色。

中鋼研發團隊透過鋁靶微觀組織控制，開發品質超越日本之高品級鋁靶，提供國內各 LCD 面板大廠使用，

整合高純度鋁靶之『顯微組織』、『織構』、『靶面品質』與『濺鍍速率』之間的關係，

釐清鋁靶晶粒尺寸及方向性對鋁靶濺鍍速率之影響，進一步開發四項關鍵核心製程技術，

成功產出品質超越日本之 LCD 用高純度鋁靶，深獲各面板業者肯定，

已成功推廣於國內 LCD 面板大廠（友達、奇美），在臺灣市佔率高達 50%，

每年為國內光電靶材產業創造約 5 億元的產值，亦為國內 LCD 面板廠商節省約 2 億元的鋁靶使用成本。

• 發布日期 : 104-03-13
• 更新日期 : 110-03-18
• 發布單位 : 專利行政企劃組
• 瀏覽人次 : 927