國際大廠紛紛承諾響應全球2050年全球淨零碳排的目標並擴及到半導體供應鏈，於我國半導體產業居領導地位的台積電，自2016年起攜手設備商，合作開發半導體節能綠色機台，將節能規範納入新機台採購標準規格，為全球第一家驅動設備商對先進機台導入節能措施的半導體企業。本手冊蒐羅、整理及研究台積電與其供應鏈有關綠色製造機台之專利文件，盼能對國內半導體產業綠色轉型有所助益或啟發。

• 發布日期 : 111-11-03
• 更新日期 : 111-11-03
• 發布單位 : 專利二組
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