ESG（ 環境、社會及公司治理；Environmental、Social 及Governance）為目前半導體產業界最熱門的議題之一，其與循環經濟之概念有著密不可分之關係。在以往線性經濟的概念中，資源被獲取而轉化為產品並使用，最終被當作廢棄物丟棄。如何「減少製程中資源浪費或產生的廢棄物進行管理與回收再利用」對於半導體產業循環經濟（或 ESG）極具意義，將廢棄資源純化為半導體等級化學品，重回製程使用，達成以綠養綠的永續目標。

本報告以半導體產業廢棄物中的「銅回收」、「矽泥回收」與「氫氣回收」為主題蒐羅、整理及研究，進行相關專利趨勢分析及挑選精選重要技術，盼能對國內半導體產業發展綠色循環經濟有所助益或啟發。

• 發布日期 : 112-11-17
• 更新日期 : 112-11-17
• 發布單位 : 專利審查二組
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